МИМ-2.1 представляет собой лазерный фазовый интерференционный микроскоп дальнего поля с различными режимами модуляции для комплексного изучения микрообъектов. Он предназначен для измерения трехмерного микрорельефа поверхности с субмикронным разрешением и определения оптической плотности прозрачных микроструктур.
Принцип действия прибора основан на интерферометрии с использованием поляризационного анализа. Для визуализации объектов используется специальная обработка интерферограмм, получаемых в результате освещения объекта лазерным светом.
МИМ-2.1 применяется в материаловедении как средство неразрушающего контроля качества поверхности образцов (металлов и полупроводниковых структур), межслойных напряжений, дефектов кристаллов, уровней диффузии и т.д.Основные характеристики
-
разрешение по вертикали (Z) в стандартных условиях 0,4 нм;
-
разрешение по вертикали (Z) при использовании активной виброзащиты 0,1 нм;
-
латеральное разрешение (X, Y) 1580 нм (в зависимости от объекта);
-
оптическое увеличение микроскопа 1130 крат;
-
поле зрения с объективом 100х/0,95 14,6 мкм;
-
шаг дискретизации в плоскости 7 нм;
шаг дискретизации по вертикали 0,01 нм; -
максимальная глубина изучаемого рельефа (260 – 800) нм (в зависимости от объекта);
-
размер растра от (1 x 1) до (1024 x 1024) точек;
-
скорость съемки 500 точек/с ;
-
время съемки кадра (128 x 128) точек 33 с;
-
время съемки кадра (1024 x 1024) точки 35 мин;
-
максимальная частота динамических процессов 500 Гц;
-
длина волны лазерного излучения 532 нм;
-
мощность лазерного излучения 40 мВт;
-
тип поляризации: эллиптическая;
-
степень поляризации 200:1;
-
диапазон изменения угла поляризации (0 – 360)°;
-
шаг изменение угла поляризации (3,6 ± 0,1)°;
-
максимальный размер образца 70 мм;
-
максимальная толщина образца 16 мм;
-
скорость фокусировки 10 мкм/с;
-
шаг измерения фокусного расстояния 8 нм.
Примеры работы
3D –изображение поверхности DVD-диска – носителя информации. На изображении видны впадины и дорожки, на которые записывается информация. Топография поверхности с высоким разрешением позволяет определить качество диска на микроуровне.
Трехмерный рельеф поверхности сверхгладких GaAs подложки.
