АО ГНЦ «Центр Келдыша»
En

МИМ-2.1

МИМ-2.1 представляет собой лазерный фазовый интерференционный микроскоп дальнего поля с различными режимами модуляции для комплексного изучения микрообъектов. Он предназначен для измерения трехмерного микрорельефа поверхности с субмикронным разрешением и определения оптической плотности прозрачных микроструктур.

Принцип действия прибора основан на интерферометрии с использованием поляризационного анализа. Для визуализации объектов используется специальная обработка интерферограмм, получаемых в результате освещения объекта лазерным светом.

МИМ-2.1 применяется в материаловедении как средство неразрушающего контроля качества поверхности образцов (металлов и полупроводниковых структур), межслойных напряжений, дефектов кристаллов, уровней диффузии и т.д.

Основные характеристики

  • разрешение по вертикали (Z) в стандартных условиях 0,4 нм;

  • разрешение по вертикали (Z) при использовании активной виброзащиты 0,1 нм;

  • латеральное разрешение (X, Y) 1580 нм (в зависимости от объекта);

  • оптическое увеличение микроскопа 1130 крат;

  • поле зрения с объективом 100х/0,95 14,6 мкм;

  • шаг дискретизации в плоскости 7 нм;
    шаг дискретизации по вертикали 0,01 нм;

  • максимальная глубина изучаемого рельефа (260 – 800) нм (в зависимости от объекта);

  • размер растра от (1 x 1) до (1024 x 1024) точек;

  • скорость съемки 500 точек/с ;

  • время съемки кадра (128 x 128) точек 33 с;

  • время съемки кадра (1024 x 1024) точки 35 мин;

  • максимальная частота динамических процессов 500 Гц;

  • длина волны лазерного излучения 532 нм;

  • мощность лазерного излучения 40 мВт;

  • тип поляризации: эллиптическая;

  • степень поляризации 200:1;

  • диапазон изменения угла поляризации (0 – 360)°;

  • шаг изменение угла поляризации (3,6 ± 0,1)°;

  • максимальный размер образца 70 мм;

  • максимальная толщина образца 16 мм;

  • скорость фокусировки 10 мкм/с;

  • шаг измерения фокусного расстояния 8 нм.

Примеры работы

Пример-для-МИМ.jpg

3D –изображение поверхности DVD-диска – носителя информации. На изображении видны впадины и дорожки, на которые записывается информация. Топография поверхности с высоким разрешением позволяет определить качество диска на микроуровне.

Пример-для-МИМ_2.jpg

Трехмерный рельеф поверхности сверхгладких GaAs подложки.